ZFC tyhjiögeneraattori

・Käyttöpainealue: −100 kPa - 1,0 MPa
Sellaisella yksiköllä voidaan käyttää sekä positiivista paineita että tyhjiöpaineita.
・Lukitusmekanismilla
Positiivisen paineen aikana se estää komponenttien hajottumisen, kun ne löysätään.